ガラスチャートのエッジ画像かエッジ分布関数(ESF)と線分布関数(LSF)を求め、このLSFをフーリエ変換することでMTFが得られます。これらを画面の5箇所以上で計測し、グラフ化することができます。MTFは0~1の範囲で、対周波数でプロットされます(通常cycles/mmで測定)。 対応するMTF値が1に近い周波数は、ほぼ元の分解能で再現され、 周波数が上がると、MTFは0まで下がり、高周波数は認識ができなくなります。レンズに誤差が生じると、高周波領域でのMTFが低下し、エッジのダレが発生します。お客様の高精度寸法計測のご要求のために、全数MTF検査を実施しております。
ISO 12233 slanted-edge methodology準拠