FPDパネル検査装置

FPDパネルにおける光学検査として、カメラに画像認識やパターン検出アルゴリズムを使用して、欠陥や異常を検知する必要があります。おもにラインスキャンカメラを利用した高速かつ高解像度でディスプレイパネルをスキャンし、表面や内部を観察・検査、色再現性、均一性を評価します。 これらの検査は、高スループット、短時間で大量のディスプレイパネルを検査することが求められ、複数のカメラとレンズ・照明光学系を組み合わせ、同時に複数の領域を検査することで、効率的な検査が必要になります。ラインスキャンカメラの解像度と速度が向上しており、16K5umなどの高解像度のカメラにより、より微細な欠陥やパターンの検出が可能となります。また、TDI（Time Delay Integration）カメラは、光センサーのピクセル列に対して時間的な積分を行いながらイメージをキャプチャします。複数の積分ステージを持つため、非常に高い感度を実現します。光がピクセル列を通過する間に信号が累積されるため、非常に高速なイメージングが可能です。ピクセル列に沿ってスキャンしながら連続的に画像を積分するため、高速移動する対象物や高速生産ライン上の検査など、時間的に変化する対象を正確にキャプチャすることができます。ただし、光学レンズは光センサのピクセル列により取り込む画像に変化がないようにテレセントリック系のレンズが必要となることがあります。
VR/ARゴーグル用のマイクロディスプレイでは、パネルが正確な色再現性を実現しているかどうかを評価する必要があります。色再現性や色の正確さなど、パネル全体の色分布・輝度分布を測定し、明るさのムラなどの均一性の欠陥を評価します。 VRゴーグルの視野角は、使用者がどれだけ広い範囲を視野に捉えることができるかを示します。これらのディスプレイ検査のほかに、視野角の測定や視野角の均一性を測定するレンズが必要になります。 VRゴーグルの広い視野角に合わせたCCTVレンズや特別に設計された前方ピンホール光学系などが利用されます。

お勧めのレンズ：

ラインスキャンカメラ用レンズML-138/120/110 series
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