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テレセントリック 両側テレセントリック・照明 マクロ・CCTV Line scan

テレセントリック

MML6-80D-IR

▪ 使用波長域770nm～1200nmをターゲットに専用設計した近赤外MML.
▪ 赤外対応のカメラ・照明と組み合わせることで、ウエハー内部の欠陥や裏面のパターンを観察できる特殊用途MMLです.
MML6-80D-IR
主な用途
不可視画像観察
FCB用位置決め
ウェハー表面観察・OCR

型式説明


S仕様
  • 型式
  • MML6-80D-IR
  • 同軸照明
  • O
  • 倍率
  • 6
  • WD (mm)
  • 81.5
  • 分解能(µm)
  • 4
  • 被写界深度(µm)
  • 33
  • NA
  • 0.15
  • 有効Fno
  • 20.1
  • TVディストーション(%)
  • 0.01
  • 最大適合CCD
  • 2/3"
  • 質量(g)
  • 100
  • マウント
  • Cマウント
分光特性
応用例
赤外線同軸透過観察
お問合せ

電話：045-913-5800

住所：〒225-0012 神奈川県横浜市青葉区あざみ野南1-3-3

メール：inside.sales@moritex.com

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