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顕微鏡 テレセントリック 両側テレセントリック・照明 マクロ・CCTV Line scan

テレセントリック

MML8-HR80D-NSW

▪  使用波長域850nm～1700nm
▪  赤外対応のカメラ・照明と組み合わせることで、ウエハー内部の欠陥や裏面のパターンを観察できる特殊用途に対応
▪  高倍率モデル
▪  視野全体をカバーする均一な同軸照明機能
MML8-HR80D-NSW
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用途
不可視画像観察
FCB用位置決め
ウェハー表面観察・OCR


型式説明


仕様
  • 項目
  • MML8-HR80D-NSW
  • 倍率
  • 8
  • WD(mm)
  • 81
  • 分解能(μm) @λ=985nm
  • 4.0
  • 被写界深度(mm)
  • 0.033
  • NA
  • 0.15
  • 有効Fno
  • 26.78
  • 光学ディストーション (%)
  • ≤-0.013
  • 最大適合CCD
  • 2/3"
  • 質量(g)
  • 265
  • マウント
  • Cマウント


外観図：MML8-HR80D-NSW

 



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