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配向膜検査システム

LayScan(レイ・スキャン)

  • 液晶ディスプレイの表示不良の一つである配向膜の不良を高速に評価・検査
  • 貼り合わせ前の配向不良検査により歩留り改善
  • 配向層と無配向層の厚さ測定も可能(GE法)
  • TFTやカラーフィルター上の配向膜測定も可能
  • オートフォーカスやあおり調整など、補助機能も充実
  • 卓上型とヘッド回転型の2機種を用意

主な用途

  • LCDの製造ラインにおける工程管理
  • LCD開発、配向膜・液晶材料開発における配向評価
  • 高分子膜や有機薄膜の異方性・配向評価

ご要望シート

仕様

品名 LayScan
光源 半導体励起レーザ(クラス3B)
受光素子 光電子倍増管
ビーム径 約φ10um
測定モード 高速モード(SMP法)、解析モード(GE法)
測定分解能 配向方位角:0.1度
傾斜角パラメータ:0.2度
膜厚:0.1nm、屈折率:0.001
膜厚測定範囲 1nm〜1um ※但し試料により異なる

測定項目

測定モード 測定項目
配向方位角 異方性の大きさ 傾斜角 屈折率 膜厚
高速モード(SMP法) ○(相対値) ○(相対値) - -
解析モード(GE法) -

測定例

測定例1 【押し込み量 v.s. 異方性の大きさ】

SMP法による配向膜測定はラビング工程の管理に非常に有効です。下のグラフはラビングの押し込み量の増加(横軸)に伴う異方性の大きさの変化(縦軸)を表したグラフです。

異方性の値に閾値を設定する事で、ラビング強度を厳密に管理する事ができます。

測定例2 【マッピング測定】

試料を格子状に多点測定します。設定は非常に簡単で、配向ムラやラビングスジの検出など、従来見ることのできなかった配向膜の様子を簡単に見ることができます。

ラインナップ

機種 LYS-LS10S LYS-LH30S カスタマイズ
方式 試料台回転方式 測定ヘッド回転式 測定試料、基板サイズなど、お客様の用途に合わせたカスタマイズも可能です。
試料サイズ 〜100x100mm 〜300x300mm
測定モード SMP法・GE法
フォーカス調整 自動ステージによる
あおり調整 手動ステージによる 自動ステージによる
本体寸法 WxDxH 610×660×860mm 1190×1092×2295mm
本体重量 約120kg 約1000kg
ユーティリティー AC100V 三相200V

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