検査・計測機器

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検査・計測機器

デモ評価は随時対応しております。

  • 低倍でのマクロ欠陥から高倍でのミクロ分析まで一台で対応
  • 照明・光学技術と各種画像前処理によりハイコントラスト画像を実現
  • 高精度画像貼合わせ技術で最大200mmウエハー一括評価
  • ステージ・照明をPCで一括制御

主な用途

  • MEMSデバイス評価・検査
  • FOWLP*1・WLCSP*2構造の内部不良解析
  • 3次元実装評価・検査
  • ダイシング後のチッピング評価・検査
  • Low-k膜のグルービング後評価
  • 酸化膜犠牲層エッチングの非破壊エッチング量測定
  • SOI*3 SOS*4 SiC*5 GaN*6 などのパワーデバイス基板評価・検査
  • 陽極接合の接合界面、内部非破壊分析・評価
  • 各種デバイス表面評価・検査
  • *1 ファンアウト ウエハーレベルパッケージ
    *2 ウエハーレベルチップスケールパッケージ
    *3 シリコン オン インシュレーター
    *4 シリコン オン サファイア
    *5 シリコン カーバイド(炭化珪素)
    *6 ガリウム ナイトライド(窒化ガリウム)

仕様

製品名 赤外透過評価・検査装置
適応材料 Si-Si、Si-Glass、Si-Au、Si-GaAs、Si-GaP、Si-GaAsP、Si-LiNbO3、Si-LiTaO3、
Si-Au-PZT、Si-Au-PLZT、Si-polymer-Si
最大ウエハーサイズ 200mm (8インチ)
光学系
PC制御、電動ズーム
倍率 低倍 0.75倍〜4.5倍(モニター倍率:33倍〜198倍)
高倍 7倍〜40倍(モニター倍率:330倍〜1,760倍)
視野 低倍 7.09x8.88mm〜1.18x1.48mm
高倍 0.71x0.89mm〜0.13x0.178mm
照明系 高倍・低倍 近赤外同軸(反射) 近赤外透過
オプション 可視光リング照明
ステージ系 電動ステージ
ストローク Xステージ 200mm
Yステージ
Zステージ 100mm
オプション ウエハ―固定テーブル(4,6,8インチ共用)
制御系 PC一括制御 倍率可変、低・高倍率レンズ切り替え、照明切り替え、X・Y・Zステージ
ソフト 画像前処理(画像強調)、画像貼り合せ(高精細画像をスキャンし合成する:MAX 8インチ)
簡易計測:2点間距離計測、円形面積、四角面積
寸法 625(W)、705(D)、735(H)
重量 85kg

Twin IR Zoom Lense搭載 (0.75倍〜40倍ZOOM)


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